Semiconductor business
半导体业务
MEMS微振镜
所属分类：MEMS微振镜 阅读次数：3895 发布时间：2024-10-16
一种用于双轴光学扫描的高性能振镜。采用MEMS技术在硅衬底上形成镜面，通过电磁驱动实现水平扫描和垂直扫描。
应用场景
车载激光雷达
车载HUD
智能车灯
微投影
工业自动化
医疗OCT
产品技术特点
水平：谐振式驱动
垂直：线性驱动
双轴独立驱动，低串扰
大视场角（FOV）
体积小
低功耗
可靠性高，已通过内部类车规级可靠性测试
内置角度和温度传感器
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